在半导体与集成电路制造与生产过程中，需要高纯氮气对其进行气氛保护与清洗，保证半导体与集成电路的质量；在半导体电池和电子合金材料等行业中，高纯氮气被用于电子产品的封装、烧结、退火、还原、储存等环节；在大规模集成电路、彩电显像管液晶以及半导体原件的处理中，高纯氮气被用于十分重要的氮气源;在单晶硅、多晶硅与一些外延产业中运用高纯氮气，不仅能够提高生产效率，还有效提升了产品质量。

电子行业中氮气纯度必须保持在99.999%之上，才符合电子行业的生产标准。